空氣過濾器的原型是人們為保護呼吸而使用的呼吸保護器具。據記載，早在一世紀的羅馬，人們在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進行保護。在此之后的漫長時間里，空氣過濾器也取得了進展，但其主要是作為呼吸保護器具用于一些危險的行業，如有害化學品的生產。1827年布朗發現了微小粒子的運動規律，人們對空氣過濾的機理有了進一步的認識。
空氣過濾器的迅速發展是與軍事工業和電子工業的發展緊密相關的。玻璃纖維過濾介質用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產工藝進行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發展。60年代， HEPA空氣過濾器問世，70年代，采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發現HEPA空氣過濾器存在著嚴重的問題，于是又產生了性能更高的ULPA空氣過濾器。目前，各國仍在努力研究，估計不久就會出現更先進的空氣過濾器。
同時空氣過濾器在微電子行業的重要性及應用不論是普通高效過濾器還是FFU，出廠前都要經過逐臺掃描測試。國內目前沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣過濾器在微電子行業的重要性及應用，空氣中的海鹽粒子是所有電子工業的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業的理想地點應該遠離海岸，可沿海地區經濟發達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區，在過濾器上多花點錢就是了。
空氣過濾器本身的設計也取得了顯著進展，其中最重要的是分隔板的去除，即無隔板過濾器的發展。無隔板過濾器不僅消除了分隔板損壞過濾介質的危險，而且有效地增加了過濾面積，提高了過濾效率，并降低了氣流阻力，從而減少了能量消耗。 |
